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    日本ULVAC DIS-501渦旋干式真空泵技術(shù)參數(shù)

    發(fā)布時(shí)間: 2015-12-29  點(diǎn)擊次數(shù): 1239次

    日本ULVAC DIS-501渦旋干式真空泵 一、特性

     

    • 雙繞式渦旋泵,含1 根軌道螺旋和2 根固定螺旋。

    • 可在大氣壓下實(shí)現(xiàn)操作運(yùn)行。

    • 可實(shí)現(xiàn)高極限真空。

    • 低振動(dòng)低噪音。

    • 維護(hù)周期可通過計(jì)時(shí)表控制。

     

    日本ULVAC DIS-501渦旋干式真空泵 二、應(yīng)用

     

    • 分析設(shè)備

    • 氣體回收系統(tǒng)

    • 涂料設(shè)備

    • TMP 前級泵

    • 氦滲漏探測器

    • 半導(dǎo)體制造工藝

     

    日本ULVAC DIS-501渦旋干式真空泵 三、規(guī)格參數(shù)

     

     

    單位

    50Hz

    60Hz

    實(shí)際抽速

    L/min

    500

    600

    極限壓力

    Pa

    1.0

    馬達(dá)

    單相

     

    100/115/200/230V, 600W, 4P, 電容啟動(dòng)運(yùn)行

     

    三相

     

    200/208/230/380/400/415/460V, 600W, 4P

    滿載電流

    單相

    A

    8.5/4.3/3.9
    (100/200/230V)

    2.7/1.57/1.57/1.63
    (200/380/400/415V)

     

    三相

     

    10.0/8.6/4.8/4.0
    (100/115/200/230V)

    2.8/2.5/2.5/1.47
    (200/208/230/460V)

    重量

    單相

    kg

    44.0

     

    三相

     

    38.0

    進(jìn)出氣管道直徑

     

    進(jìn)氣管KF-40 出氣管 KF-25

    環(huán)境溫度

    °C

    5 – 40

    水蒸氣處理

    g/天

    ≤25 (A.F. 開啟)

    尺寸

    單相

    mm

    290(W) × 443(L) × 397(H)

     

    三相

     

    290(W) × 372(L) × 397(H)

     

     

    四、外形圖

     

     

    五、泵數(shù)曲線

     

    六、對應(yīng)電壓與認(rèn)證

     

    電壓

    現(xiàn)行電壓

    CE 認(rèn)證

    CSA 認(rèn)證

    單相, 100V, 200V, 230V
    115V (60Hz)

    標(biāo)準(zhǔn)

     ●

    三相, 200, 380V, 400V, 415V (50Hz) 
    200V, 208V, 230V, 460V (60Hz)

    標(biāo)準(zhǔn)

          ●

          ●

    聯(lián)