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      技術(shù)文章 / article  您的位置：網(wǎng)站首頁 > 技術(shù)文章 > 日本ULVAC DIS-251渦旋干式真空泵技術(shù)參數(shù) 
    
      
    
            
    
                
    日本ULVAC DIS-251渦旋干式真空泵技術(shù)參數(shù)
    
                
    
                  發(fā)布時(shí)間： 2015-12-29　　點(diǎn)擊次數(shù)： 1163次  
                
    
                
    
                 
    日本ULVAC DIS-251渦旋干式真空泵 一、特性
     
    • 雙繞式渦旋泵，含1 根軌道螺旋和2 根固定螺旋。
    • 可在大氣壓下實(shí)現(xiàn)操作運(yùn)行。
    • 可實(shí)現(xiàn)高極限真空。
    • 低振動(dòng)低噪音。
    • 維護(hù)周期可通過計(jì)時(shí)表控制。
     
     日本ULVAC DIS-251渦旋干式真空泵 二、應(yīng)用
     
    • 分析設(shè)備
    • 氣體回收系統(tǒng)
    • 涂料設(shè)備
    • TMP 前級(jí)泵
    • 氦滲漏探測(cè)器
    • 半導(dǎo)體制造工藝
     
     日本ULVAC DIS-251渦旋干式真空泵 三、規(guī)格參數(shù)
     
     
    單位
    50Hz
    60Hz
    實(shí)際抽速
    L/min
    250
    300
    極限壓力
    Pa
    1.6
    馬達(dá)
    單相
     
    100/115/200/230V, 400W, 4P, 電容啟動(dòng)運(yùn)行
     
    三相
     
    200/208/230/380/400/415/460V, 400W, 4P
    滿載電流
    單相
    A
    4.8/2.6/2.4
    (100/200/230V)
    4.8/4.3/2.8/2.4
    (100/115/200/230V) 
     
    三相
     
    1.6/0.9/0.9/1.0
    (200/380/400/415V)
    1.9/1.9/1.8/1.0
    (200/208/230/460V)
    重量
    單相
    kg
    25.0
     
    三相
     
    23.0
    進(jìn)出氣管道直徑
     
    進(jìn)氣管KF-25　出氣管 KF-16
     
    四、外形圖
     
     
    五、泵數(shù)曲線
     
    六、對(duì)應(yīng)電壓與認(rèn)證
     
    電壓
    現(xiàn)行電壓
    CE 認(rèn)證
    CSA 認(rèn)證
    單相, 100V, 200-230V 
    115V (60Hz)
    標(biāo)準(zhǔn)
     
     
    三相, 200, 380V, 400V, 415V (50Hz) 
    200V, 208V, 230V, 460V (60Hz)
    標(biāo)準(zhǔn)
     
     
    
                
    
                
            
    
        
    
    
    
  
    

    

    






 

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