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    日本ULVAC CFB-2000Z脂潤(rùn)滑分子泵技術(shù)參數(shù)

    發(fā)布時(shí)間: 2015-12-29  點(diǎn)擊次數(shù): 1029次

    一、產(chǎn)品簡(jiǎn)介

            CFB-Z系列脂潤(rùn)滑分子泵其葉輪采用國(guó)內(nèi)*的變截面葉齒,軸承采用脂潤(rùn)滑陶磁精密軸承,以更高的可靠性實(shí)現(xiàn)了泵的任意角度安裝和清潔無(wú)油的高真空環(huán)境,廣泛應(yīng)用于光伏、照明、宇航、半導(dǎo)體、能源、軍工、激光、家電、新材料、汽車(chē)等真空技術(shù)的各個(gè)領(lǐng)域。

     

    二、產(chǎn)品特點(diǎn)

            

    • 由于對(duì)分子量大的氣體有很高的壓縮比,因此該泵不需要冷阱和油擋板即可獲得高真空和超高真空。
    • 軸承采用脂潤(rùn)滑陶瓷精密軸承,可以實(shí)現(xiàn)泵的任意角度安裝。

     

    三、主要性能指標(biāo)

     

    型號(hào)

    CFB-2000Z

    進(jìn)氣口法蘭

    LF250

    CF250

    排氣口法蘭

    KF50

    抽氣速率

    L/s

    2000

    壓縮比N2/H2

    1×109/1×104

    極限壓強(qiáng)

    Pa

    5×10-7

    8×10-8   

    電機(jī)轉(zhuǎn)速

    rpm

    24000

    振動(dòng)值

    μm

    ≤0.1

    啟動(dòng)時(shí)間

    min

    <6

    使用軸承

    脂潤(rùn)滑陶瓷軸承

    前極泵

    L/s

    15

    冷卻方式

    水冷(風(fēng)冷)

    冷卻水溫度

    ≤25

    環(huán)境溫度

    <40

    冷卻水流量

    L/min

    1

    安裝方向

    任意角度

    重量

    kg

    ~30

     


    三、特性曲線(xiàn)及安裝尺寸

     

    CFB系列抗沖擊分子泵對(duì)大氣的抽速曲線(xiàn) 

    CFB系列抗沖擊分子泵對(duì)氮?dú)饧皻錃鈮嚎s比曲線(xiàn)

     CFB-2000Z安裝尺寸

     

    型號(hào)規(guī)格

    CFB-2000Z

    高真空法蘭

    LF250

    CF250

    D1

    Ф290

    Ф305

    D2

    Ф295

    Ф295

    D3

    274

    274

    L1

    114

    114

    H1

    317

    317

    H2

    262

    262

    H3

    97.5

    97.5

    H4

    282

    282

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