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    日本ULVAC CFB-3600(LF)渦輪分子泵技術(shù)參數(shù)

    發(fā)布時(shí)間: 2015-12-29  點(diǎn)擊次數(shù): 1032次

    日本ULVAC CFB-3600(LF)渦輪分子泵 一、產(chǎn)品簡(jiǎn)介

            CFB-3600渦輪分子泵的葉輪采用變截面葉齒,增強(qiáng)了葉片強(qiáng)度、減輕了轉(zhuǎn)子重量,縮短了啟動(dòng)時(shí)間,降低了機(jī)械損耗,增加了使用壽命。

     

    日本ULVAC CFB-3600(LF)渦輪分子泵 二、壓縮比曲線和抽數(shù)曲圖

            

     

     

    日本ULVAC CFB-3600(LF)渦輪分子泵 三、主要性能指標(biāo)

     

    型號(hào)

    CFB-3600

    進(jìn)氣口法蘭


    LF400

    排氣口法蘭

    LF100

    抽氣速率

    L/s

    3600

    壓縮比N2/H2

    1×108/5×102

    極限壓強(qiáng)

    Pa

    2×10-6

    電機(jī)轉(zhuǎn)速

    rpm

    12600

    啟動(dòng)時(shí)間

    min

    <10

    停機(jī)時(shí)間

    min

    <20

    振動(dòng)值

    μm

    ≤0.15

    前極泵

    L/s

    30-70

    冷卻水溫度

    ≤25

    泵體烘烤溫度

    <120

    冷卻水流量

    L/min

    1

    安裝方向

    垂直±5°

    重量

    kg

    ~100

    聯(lián)