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      技術文章 / article  您的位置：網(wǎng)站首頁 > 技術文章 > 日本ULVAC DIS-90渦旋干式真空泵技術參數(shù) 
    
      
    
            
    
                
    日本ULVAC DIS-90渦旋干式真空泵技術參數(shù)
    
                
    
                  發(fā)布時間： 2015-12-29　　點擊次數(shù)： 1145次  
                
    
                
    
                 
    日本ULVAC DIS-90渦旋干式真空泵 一、特性
     
    • 雙繞式渦旋泵，含1 根軌道螺旋和2 根固定螺旋。
    • 可在大氣壓下實現(xiàn)操作運行。
    • 可實現(xiàn)高極限真空。
    • 低振動低噪音。
    • 維護周期可通過計時表控制。
     
    日本ULVAC DIS-90渦旋干式真空泵 二、應用
     
    • 分析設備
    • 氣體回收系統(tǒng)
    • 涂料設備• TMP 前級泵
    • 氦滲漏探測器
    • 半導體制造工藝
     
    日本ULVAC DIS-90渦旋干式真空泵 三、規(guī)格參數(shù)
     
     
    單位
    50Hz
    60Hz
    實際抽速
    L/min
    90
    108
    極限壓力
    Pa
    5.0
    馬達
     
    單相, 100/115/200/230V, 
    150W, 4P, 電容啟動運行
    滿載電流
    A
    2.6/1.3/1.6
    (100/200/230V)
    2.1/2.2/1.1/1.1 
    (100/115/200/230V)
    重量
    kg
    14.0
    進出氣管道直徑
     
    進氣管 KF-25　出氣管 KF-16
    環(huán)境溫度
    °C
    5 – 40
    水蒸氣處理
    g/天
    ≤5 (A.F. 開啟)
    尺寸
    mm
    214(W) × 308(L) × 225(H)
     
    四、外形圖
     
     
    五、泵數(shù)曲線
     
    六、對應電壓與認證
     
    電壓
    現(xiàn)行電壓
    CE 認證
    CSA 認證
    單相, 
    100V / 115V (60Hz)/ 200-230V
    標準
     
     
    
                
    
                
            
    
        
    
    
    
  
    

    

    






 

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